Рассмотрены преимущества применения сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) для точных измерений при решении задач нанотехнологии. Описаны результаты измерения шумов СТМ и показано, что основное ограничение пространственного разрешения по нормали к исследуемой поверхности образца обусловлено низкочастотными флуктуациями туннельного тока. Определена предельная чувствительность СТМ.

Измерительная техника (1998), №4, сс. 58-61.